参考书目References：

《Philosophical Transactions   of The Royal Society A》，“Ultra-precision Engineering: From   Physics to Manufacturing”，Volume 370, Issue 1973, Pages   3827-4160，Xiangqian Jiang Jane，2012

《Fabrication of Complex   Optical Components: From Mold Design to Product》，Ekkard Brinksmeier，Springer，2012

《Molded Optics: Design and   Manufacture》，Alan Symmons，2016

《Microlithography: Science   and Technology》，2nd Edition，Bruce W. Smith，2018

《Microchip Fabrication：A Practical Guide to   Semiconductor Processing》，6th Edition，Peter Van Zant，2015

《精密和超精密加工技术》，袁哲俊、王先逵，机械工业出版社，2016年

《精密超精密加工技术新进展》，杨辉，航空工业出版社，2016年

《现代光学制造工程》，杨力，科学出版社，2010年

《微纳米制造技术及应用》，张德远等，科学出版社，2015年

《纳米集成电路制造工艺》，张汝京，清华大学出版社，2017年