8 Series图案晶圆检测系统以卓越的产出率侦测各类缺陷，快速识别与解决生产过程中的问题。8 Series提供具成本效益的缺陷监测，针对芯片制造使用的150毫米、200毫米或300毫米的矽、SiC、GaN、玻璃与其他基板，从产品初期开发到量产阶段皆适用。最新一代的8935检测仪采用全新光学技术以及DesignWise®和 FlexPoint™ 精确定位技术ˋ，捕捉任何可能导致芯片故障的关键缺陷。DefectWise® AI技术快速进行线上分离，从而改善缺陷检测与分级效能。透过这些创新技术，8935检测仪高效捕捉与产量和可靠性相关的缺陷，同时保持低误报率，帮助芯片制造商以更低的成本交出可靠的产品。8 Series检测仪支援针对制造过程中各种领先与传统节点进行缺陷检测，包括逻辑、储存、功率、LED、光子、射频与微机电（MEMS) 器件。8 Series更确保制造过程中现实/虚拟以及硬盘驱动器（HDD) 的质量控制。8 Series 型号可现场升级，提供了一种高性价比的方式来提高检测性能。

8930 Sic/GaN半导体

8935 产品资料说明书

制程监控、工具监控、出厂品质控制（OQC)

CIRCL缺陷检测、计量与复检集群的8 Series也可作为模块，用以测量前后表面以及边缘的全面晶圆测量

是自动化的在线芯片筛选方案，可以与8 Series检测仪整合，帮助芯片制造商实现零缺陷筛选策略。8 Series在关键制程步骤中监测所有晶圆上100%的晶片，I-PAT则利用这些数据移除供应链中可能出现故障的芯片。 点击此处 了解