学校研究生教育始于1981年，1993年正式获得硕士学位授予权，现已形成结构合理、布局完善的学科发展体系，并在电子信息、现代制造与光机电一体化、知识管理与技术经济等领域与研究方向达到国内领先或国内先进水平。

近年来，学校研究生教育发展迅速，研究生教育水平和规模同步提高，2010年学校获得硕士生推免权。学校在校硕士研究生1100名；与其它高校、科研院所联合培养在研博士46名。学校现有硕士生导师173名，校外兼职专业硕士生导师81名，博士生导师19名。

目前学校学术型硕士学位有硕士学位授权一级学科14个。已开展硕士研究生招生的硕士学位授权二级学科36个；专业硕士学位有专业硕士学位授权类别2个 ，专业硕士学位授权领域8个；硕士学位授权一级学科有机械工程 、仪器科学与技术、光学工程、信息与通信工程、管理科学与工程、工商管理、应用经济学、电气工程、控制科学与工程、计算机科学与技术、数学、软件工程、电子科学与技术，马克思主义理论；专业硕士学位授权类别包括工程硕士，工商管理；工程硕士领域包括机械工程、仪器仪表工程、电子与通信工程、工业工程、控制工程、计算机工程、物流工程，工商管理；北京市重点学科有机械电子工程、精密仪器与机械，技术经济与管理；北京市重点建设学科包括应用数学、机械工程、测试计量技术及仪器、信号与信息处理、控制理论与控制工程、检测技术与自动化装置、计算机应用技术、管理科学与工程，企业管理。